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六氟化硫電氣設(shè)備中氣體介質(zhì)的絕緣和滅弧能力主要依賴于足夠的充氣密度（壓力）和氣體的高純度，氣體的泄漏直接影響設(shè)備的安全運行和操作人員的人身安全。所以，SF6氣體檢漏是六氟化硫電氣設(shè)備交接驗收和運行監(jiān)督的主要項目之一。根據(jù)有關(guān)規(guī)定，設(shè)備中每個氣室的年漏氣率不能超過1%。  
現(xiàn)場檢漏的部位主要是設(shè)備氣室的接頭、閥門、表計、法蘭面接口等，可參看設(shè)備的密封對應(yīng)圖。試驗時，設(shè)備狀況應(yīng)盡可能與實際運行情況相符。通常，設(shè)備應(yīng)分別在分、合閘位置進行密封試驗，但如已證明密封與分、合閘位置無關(guān)或其中一種位置的密封試驗?zāi)?包容另一種位置的密封試驗時，則可只在該位置進行密封試驗。檢漏所使用的儀器一般為鹵素氣體檢漏儀，這類儀器對各種電負性氣體，如鹵素、氟里昂、SF6等都有響應(yīng)，因此在檢漏過程中應(yīng)注意環(huán)境中的干擾情況。檢漏儀可有多種工作原理，但從其外觀和功能上一般分為定性檢漏儀和定量檢漏儀兩類。定性檢漏儀小巧、輕便，通過聲光信號來指示泄漏與否，但無法確定泄漏率；定量檢漏儀體積較大，使用不如定性檢漏儀方便，但可以顯示被測部位的漏氣率。  
檢漏的方法包括定性檢漏和定量檢漏兩大類。定性檢漏通常使用定性檢漏儀，也可使用定量檢漏儀；定量檢漏只能使用定量檢漏儀。定性檢漏  
定性檢漏作為判斷設(shè)備漏氣與否的一種手段，通常作為定量檢漏前的預(yù)檢。用檢漏儀進行的定性檢漏還可以確定設(shè)備的漏點。  
1．抽真空檢漏  
設(shè)備安裝完畢在充入SF6氣體之前必須進行抽真空處理，此時可同時進行檢漏。方法為：將設(shè)備抽真空到真空度為113Pa，再維持真空泵運轉(zhuǎn)30min后關(guān)閉閥門、停泵，30min后讀取真空度A，5h后再讀取真空度B；如B－A小于133Pa，則認為密封性能良好。  
2．檢漏儀檢滿  
設(shè)備充氣后，將檢漏儀探頭沿著設(shè)備各連接口表面緩慢移動，根據(jù)儀器讀數(shù)或其聲光報警信號來判斷接口的氣體泄漏情況。對氣路管道的各連接處必須細致檢查，一般探頭移動速度以10mm/s左右為宜，以防探頭移動過快而錯過漏點。  
在檢查過程中，應(yīng)防止設(shè)備接口上的密封脂堵塞檢漏儀探頭的氣體吸入口。接口上的油脂、灰塵等可能影響檢測，查漏時應(yīng)排除這些干擾因素。另外檢查工作不應(yīng)在風(fēng)速過大的情況下進行，避免泄漏氣體被風(fēng)吹散而影響檢漏工作。  
該法在實際使用中受到檢漏儀靈敏度和響應(yīng)速度的限制，一般使用該法檢漏時檢漏儀的檢測限應(yīng)小于10-6，響應(yīng)時間在5s以下，越小越好。  
需要注意的是，由于檢漏儀直接工作在大氣環(huán)境中，極易受到空氣中各種電負性強的雜質(zhì)的干擾而發(fā)生誤報等情況。所以在檢漏過程中應(yīng)盡可能保證環(huán)境空氣不含煙霧、溶劑蒸氣等干擾物。另外，如果檢漏儀指示某處存在泄漏，還需要經(jīng)過反復(fù)檢查后才能確定。